تتكون الركائز الخزفية عادةً من أكسيد الألومنيوم أو نيتريد الألومنيوم أو كربيد السيليكون. فيما يلي وصف تفصيلي للمواد المستخدمة في هذه الركائز الخزفية:
المواد الأولية: تشمل المواد الأولية للركائز الخزفية أكسيد الألومنيوم ونيتريد الألومنيوم، وكلاهما يستخدم على نطاق واسع في هذا التطبيق. بالإضافة إلى ذلك، يتم تصنيع بعض ركائز السيراميك باستخدام كربيد السيليكون؛ ومع ذلك، هذه تميل إلى أن تكون أكثر تكلفة نسبيا.
عملية التصنيع: يتم إنتاج ركائز السيراميك عن طريق ربط رقائق النحاس على سطح قاعدة أكسيد الألومنيوم من خلال عملية تصنيع متخصصة. تمنح تقنية التوليف هذه الركائز الخزفية عزلًا كهربائيًا استثنائيًا، وموصلية حرارية، وقوة التصاق.
خصائص المواد: باعتباره أحد المواد الأساسية المكونة، يتميز أكسيد الألومنيوم بنقائه العالي، وكثافته العالية، وعزله الكهربائي الممتاز والتوصيل الحراري. تجعل هذه السمات الركائز الخزفية أمرًا لا غنى عنه في تقنيات تعبئة الدوائر الإلكترونية، حيث تظهر أداءً متميزًا-خاصة في تصنيع وحدات أشباه الموصلات عالية الطاقة-. تمتلك نيتريد الألومنيوم وكربيد السيليكون أيضًا خصائص ممتازة مماثلة، على الرغم من أنها قد تختلف في جوانب محددة؛ على سبيل المثال، يُظهر كربيد السيليكون صلابة فائقة ومقاومة للتآكل.